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微纳光纤-波导-超导纳米线单光子探测器及制备方法

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本发明提供一种微纳光纤‑波导‑超导纳米线单光子探测器及制备方法；固定于V型槽的微纳光纤可以和波导实现高精度的光耦合对准，并使微纳光纤由粗变细的过渡段悬空，防止光向衬底的泄露，进而减少光传输过程的损耗；波导型超导纳米线结构可以在片上实现对光的完全吸收；弯角波导设计可使微纳光纤‑波导的光耦合区域和波导型超导纳米线结构的光探测区域完全分离开，可有效减少沿光纤传播的背景辐射导致的暗计数，降低背景暗计数对光探测的影响；本发明可实现一个集高探测效率、高计数率、低时间抖动以及低暗计数为一体的单光子探测器，有望在光量子信息处理、量子光学等领域发挥作用。

著录项

公开/公告号CN113204075A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-03

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
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申请/专利号CN202110475950.X
发明设计人张伟君;樊东辉;尤立星;
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申请日2021-04-29
分类号G02B6/125(20060101);G02B6/26(20060101);G02B6/36(20060101);G02B6/13(20060101);G02B6/12(20060101);B82Y15/00(20110101);B82Y40/00(20110101);G01J11/00(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人卢炳琼
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-06-19 12:05:39

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2022-06-24

授权

发明专利权授予

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