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一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法

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本发明公开了一种生物基星型ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法，所述成膜树脂包含如下式I无规星型聚合物结构；其中n、m、x和y为单体的摩尔占比，0＜n≤0.3，0＜m≤0.8，0＜x≤0.2，0＜y≤0.3，n+m+x+y＝1；R1、R2、R3和R4为H、CH3或CH2CH3。本发明将光致产酸剂引入到星型树脂中可以均匀的分布在成膜树脂的膜中。光致产酸剂不仅可以在曝光的区域产酸，同时还能有效地在光刻胶中均匀分布，提高光刻胶的粘附性、灵敏度(≤31mJ/cm2)、分辨率(≤90nm)，改善光刻胶的成膜能力。

著录项

公开/公告号CN113214428A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-06

原文格式PDF
申请/专利权人中科院长春应化所黄埔先进材料研究院;
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申请/专利号CN202110466774.3
发明设计人季生象;顾雪松;刘亚栋;李小欧;
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申请日2021-04-28
分类号C08F220/18(20060101);C08F220/28(20060101);C08F220/32(20060101);C08F220/38(20060101);G03F7/004(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人宫爱鹏
地址 510530 广东省广州市黄埔区连云路388号
入库时间 2023-06-19 12:08:44

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法律状态公告日

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法律状态
2022-04-12

授权

发明专利权授予

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