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制作漫反射板的方法及漫反射板

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摘要

本申请公开了一种制作漫反射板的方法及漫反射板，涉及标定板的技术领域，本申请的制作漫反射板的方法，包括在基板上生成一层漫反射层；在漫反射层上镀膜，形成待刻蚀膜层；在待刻蚀膜层上进行涂胶、曝光和显影，形成初始图案；根据所述初始图案刻蚀所述待刻蚀膜层，形成图案层，得到漫反射板。故本申请相比于现有技术，加工周期短、加工成本低，成品精度高，且增强了标定板表面的漫反射现象，减小了镜面反射对标定结果的影响，从而提高了标定的精度。

著录项

  • 公开/公告号CN113325499A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-08-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波市知行光学科技有限公司;

    申请/专利号CN202110596964.7

  • 发明设计人 张云雪;宋丹;何玉国;黄安琳;

    申请日2021-05-28

  • 分类号G02B5/02(20060101);

  • 代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人钟扬飞

  • 地址 315400 浙江省宁波市余姚市天德商都J幢1-20(自主申报)

  • 入库时间 2023-06-19 12:24:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-09

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G02B 5/02 专利申请号:2021105969647 申请公布日:20210831

    发明专利申请公布后的驳回

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