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同步STEM和TEM显微镜

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摘要

同步STEM和TEM显微镜。用于使用单个电子显微镜系统通过TEM和STEM技术研究样本的方法包含以下步骤：朝着所述样本发射电子；将所述电子形成为两个束；以及然后修改所述两个束中的至少一个束的聚焦特性，使得所述两个束具有不同的焦平面。一旦所述两个束具有不同的焦平面，第一电子束被聚焦，使得所述第一电子束充当聚焦在所述样本处的STEM束，并且第二电子束被聚焦，使得当入射到所述样本上时，所述第二电子束充当作为平行束的TEM束。然后，可以由单个检测器或检测器阵列检测由入射到所述样本上的所述STEM束和所述TEM束产生的发射，并且所述发射用于产生TEM图像和STEM图像。

著录项

  • 公开/公告号CN113466273A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI 公司;

    申请/专利号CN202110331202.4

  • 发明设计人 A·亨斯特拉;Y·邓;H·科尔;

    申请日2021-03-29

  • 分类号G01N23/2206(20180101);G01N23/2251(20180101);G01N23/04(20180101);G01N23/20(20180101);G01N23/20058(20180101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人张凌苗;周学斌

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2023-06-19 12:46:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/2206 专利申请号:2021103312024 申请日:20210329

    实质审查的生效

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