首页> 中国专利> 扫描电子显微镜中原位静-动态疲劳力学性能测试仪器

扫描电子显微镜中原位静-动态疲劳力学性能测试仪器

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明涉及一种扫描电子显微镜中原位静‑动态疲劳力学性能测试仪器，属于科学仪器与材料测试技术领域。包括驱动单元、支撑单元、夹持单元、测量单元及加热单元；支撑单元，支撑夹持单元，与扫描电子显微镜的移动平台连接；驱动单元包括准静态力学载荷加载机构和动态疲劳载荷加载机构两部分，构建静‑动态力学载荷耦合的加载环境；测量单元测量样品的静‑动态力学载荷和位移；加热单元固定在支撑单元上。优点在于：可以实现对材料进行原位高温、高应力的静‑动态疲劳测试，还可集成拉伸、压缩、三点弯、四点弯、剪切等多种静态载荷模式，实现对材料力学性能试验的稳定、连续、准确的控制和表面变形及失效行为监测。

著录项

公开/公告号CN113514319A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-19

原文格式PDF
申请/专利权人吉林大学;
展开▼

申请/专利号CN202110502918.6
发明设计人刘长宜;黄令帅;李鸣鹤;马嵩宁;赵宏伟;邢文娟;李俊蓉;王子威;
展开▼

申请日2021-05-10
分类号G01N3/02(20060101);G01N3/04(20060101);G01N3/06(20060101);G01N3/08(20060101);G01N3/20(20060101);G01N3/24(20060101);
代理机构22100 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司;
代理人王怡敏
地址 130000 吉林省长春市前进大街2699号
入库时间 2023-06-19 12:54:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-06-14

授权

发明专利权授予

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 扫描电子显微镜中原位静-动态疲劳力学性能测试仪器 [P] . 中国专利： CN113514319A . 2021-10-19
2. 双轴拉伸力学性能测试仪器及原位微观力学性能测试设备 [P] . 中国专利： CN108267372A . 2018-07-10
3. in an integrated system combined elektronenoptik, differentialpumpvorrichtung and bildsignalerfassung for an in situ scanning electron microscope. [P] . 德国专利： DE68906686D1 . 1993-07-01

机译：在一个集成系统中，结合了电子前驱体，差动泵富集和胆囊信号原位，用于原位扫描电子显微镜。
4. Static-dynamic fatigue-creep testing apparatus [P] . 美国专利： US3135106A . 1964-06-02

机译：静动态疲劳蠕变试验装置
5. Integrated in situ scanning electronic microscope review station in semiconductor wafers and photomasks optical inspection system [P] . 美国专利： US7428850B2 . 2008-09-30

机译：集成在半导体晶圆和光掩模光学检测系统中的原位扫描电子显微镜检查站