公开/公告号CN113643839A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN202010343496.8
申请日2020-04-27
分类号G21K1/06(20060101);C23C16/34(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴梦圆
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-06-19 13:13:51
机译: 菲涅耳波带片和使用菲涅耳波带片的X射线显微镜
机译: 高次谐波软X射线光源的软X射线显微镜和制造相变波带片的方法
机译: 具有多个对准的波带片的复合X射线透镜