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红外传感器和配备有红外传感器的红外传感器装置

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摘要

本发明能够抑制每个热红外检测单元的冷触点温度的变化。根据本发明，膜结构3由衬底(1)支撑。薄膜结构(3)具有多个阵列状排列的热红外检测单元(4)。多个热红外检测单元(4)中的每一个包括具有多个热触点(T1)和多个冷触点(T2)的热电堆(6)。红外传感器(100)还设有多个加热器单元(8)和温度测量单元(9)。多个加热器单元(8)设置在衬底(1)的第一主表面(11)上。温度测量单元(9)设置在衬底(1)的第一主表面(11)上，用于检测衬底(1)的温度。在衬底(1)的厚度方向(D1)俯视时，多个加热器单元(8)分别与多个加热器单元(8)中的其他加热器单元(8)隔着区域(10)相对，其包括多个热红外检测单元(4)。

著录项

公开/公告号CN113677962A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19

原文格式PDF
申请/专利权人松下知识产权经营株式会社;
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申请/专利号CN202080022390.6
发明设计人木田翔也;岛本延亮;南那由多;服部勋;小林直纪;山中浩;
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申请日2020-02-26
分类号G01J1/02(20060101);G01J5/16(20060101);H01L27/144(20060101);G01J5/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人庄锦军
地址日本大阪府
入库时间 2023-06-19 13:18:31

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-03-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 1/02 专利申请号:2020800223906 申请日:20200226

实质审查的生效

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