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一种碳化硅微反应组件的制造方法及碳化硅微反应组件

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摘要

本申请属于微反应组件技术领域，具体涉及一种碳化硅微反应组件的制造方法及碳化硅微反应组件。碳化硅微反应组件的制造方法包括如下步骤：（A）素胚成型：采用碳化硅喷雾造粒粉体，直接等静压成型，得到素胚；（B）素胚加工：根据设计尺寸对反应板素胚进行平面加工，不加工微通道；（C）高温烧结：将步骤（B）获得的板进行真空微负压烧结；（D）反应板加工：在所需反应板上激光加工出微通道，并对进出料孔和定位孔进行精加工；（E）高温焊接：将耐腐蚀哈氏合金箔片固定于相邻的板之间，于1300‑1400℃和10‑50bar压力下焊接即可。本申请反应板的微通道是在高温烧结后通过激光加工获得，对于微通道尺寸非常小的情况，可实现精准控制，有助于微流量控制。

著录项

  • 公开/公告号CN113698207A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南通三责精密陶瓷有限公司;

    申请/专利号CN202110977577.8

  • 发明设计人 闫永杰;姚玉玺;

    申请日2021-08-24

  • 分类号C04B35/565(20060101);C04B35/622(20060101);C04B37/00(20060101);C04B41/91(20060101);B01J19/00(20060101);B01J19/24(20060101);

  • 代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;

  • 代理人肖照旭

  • 地址 226001 江苏省南通市苏通科技产业园区武夷路18号

  • 入库时间 2023-06-19 13:24:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-13

    授权

    发明专利权授予

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