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镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机

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摘要

本申请实施例提供了一种镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机。所述方法包括：获取在镀膜过程中镀膜机腔室内的多媒体数据；根据所述多媒体数据，确定所述镀膜机腔室内的待测机构的状态信息；当检测到所述待测机构的状态信息满足预设的异常状态条件时，发出相应的第一告警信息。本申请用以解决现有技术无法及时发现镀膜机腔室内设备机构的异常情况的技术问题。

著录项

  • 公开/公告号CN113897587A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司;

    申请/专利号CN202111152527.2

  • 发明设计人 冀鸣;易洪波;刘伟基;赵刚;

    申请日2021-09-29

  • 分类号C23C14/54(20060101);C23C14/24(20060101);

  • 代理机构11330 北京市立方律师事务所;

  • 代理人刘延喜

  • 地址 528000 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报)

  • 入库时间 2023-06-19 13:35:32

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