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一种具有非晶氧化钒薄膜的高温超导体及其制备方法和高温超导线圈

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本申请涉及超导材料领域，公开了一种具有非晶氧化钒薄膜的高温超导体及其制备方法和高温超导线圈，包括以下步骤：以高温超导体为基底，将高温超导体放入高能脉冲磁控溅射设备的腔体内，以金属钒为靶材；腔体抽真空，不加热基底；通入氩气，调整气压，设置高能脉冲电源功率、脉冲频率、脉宽；通入氧气，在高温超导体表面沉积薄膜；通入氮气卸去真空，得到所述具有非晶氧化钒薄膜的高温超导体。本申请的所述具有非晶氧化钒薄膜的高温超导体的制备方法，利用高能脉冲磁控溅射技术具有高离化率的特点，实现了在室温不加热的条件下在高温超导体表面沉积具有电阻可调性能的非晶氧化钒薄膜，所述非晶氧化钒薄膜用于高温超导材料的失超保护。

著录项

公开/公告号CN113774348A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-10

原文格式PDF
申请/专利权人季华实验室;
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申请/专利号CN202111107898.9
发明设计人杨振怀;胡琅;胡强;郭远军;卫红;郭可升;肖永能;王鹏;王功伟;
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申请日2021-09-22
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/08(20060101);H01B12/06(20060101);
代理机构44377 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陈志超;罗尹清
地址 528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号
入库时间 2023-06-19 13:41:59

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2023-06-02

授权

发明专利权授予

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