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基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列

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摘要

本发明公开了基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列，机械天线包括由上到下依次相接的永磁体、磁致伸缩模块、第一电极、压电模块、第二电极。第一电极、第二电极激励压电模块发生压电效应，产生振动，驱动磁致伸缩模块、永磁体振动，形成电磁场。低频机械天线阵列，采用上述机械天线，多个阵列分布的机械天线通过MEMS工艺集成在LTCC介质板上。本发明提出基于MEMS与LTCC工艺的低频机械天线阵列，能够结合需求，按照一定规律排列集成，产生较好的辐射场强，并且还能减小器件的体积，提升了系统的集成度，为实现设备的小型化提供可能。

著录项

  • 公开/公告号CN113964492A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-01-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州博海创业微系统有限公司;

    申请/专利号CN202111120886.X

  • 发明设计人 黄勇;刘昌光;柯华;

    申请日2021-09-24

  • 分类号H01Q1/36(20060101);H01Q1/50(20060101);H01Q21/06(20060101);B81B7/02(20060101);B81B7/04(20060101);

  • 代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;

  • 代理人范晴;孙佳佳

  • 地址 215163 江苏省苏州市高新区科技城龙山路89号

  • 入库时间 2023-06-19 13:57:16

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-01-21

    公开

    发明专利申请公布

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