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一种自供电偏振可见光探测器及制备方法与应用

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本发明公开了一种自供电偏振可见光探测器及制备方法与应用，所述自供电偏振可见光探测器包括从下到上依次排布的衬底、缓冲层、功能层、SiO2隔离层和金属电极层，其中：缓冲层为从下到上依次排布的AlN层、AlGaN层和GaN层；功能层包括InGaN层、石墨烯层和GeS2层，石墨烯层作为GeS2层和InGaN层之间的电子传输层；SiO2隔离层在InGaN层上；金属电极层分别在GeS2层和InGaN层上。本发明通过在InGaN层上转移石墨烯并磁控溅射沉积GeS2薄膜形成异质复合薄膜，可以有效提高可见光探测性能，在提高器件的光电流与响应度的同时，能有效限制器件的暗电流与噪声，实现偏振选择探测。

著录项

公开/公告号CN113972298A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-25

原文格式PDF
申请/专利权人华南理工大学;
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申请/专利号CN202111151502.0
发明设计人李国强;陈胜;王文樑;柴吉星;
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申请日2021-09-29
分类号H01L31/108(20060101);H01L31/02(20060101);H01L31/0232(20140101);H01L31/18(20060101);
代理机构44245 广州市华学知识产权代理有限公司;
代理人李君
地址 510640 广东省广州市天河区五山路381号
入库时间 2023-06-19 14:00:21

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