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一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备

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本发明公开了一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备，该方法包括：对控制软件的目标模块进行功能性分析，获取目标功能；确定目标模块的测试类别中的目标测试类别，以对控制软件的上层功能逻辑或底层代码进行测试；根据目标功能生成目标测试类别的测试用例；基于测试用例对目标模块进行测试。本发明提供的技术方案，通过分析CMP控制软件的各个功能模块的功能，从而对应生成符合模块功能的黑盒测试和白盒测试的测试用例，实现了对CMP控制软件进行完备测试的功能，提高了CMP控制软件的可靠性。

著录项

公开/公告号CN114089725A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-02-25

原文格式PDF
申请/专利权人北京烁科精微电子装备有限公司;
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申请/专利号CN202111370502.X
发明设计人侯为萍;周庆亚;杨元元;张文斌;孟晓云;
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申请日2021-11-18
分类号G05B23/02(20060101);
代理机构11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司;
代理人刘静
地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
入库时间 2023-06-19 14:17:30

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-03-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G05B23/02 专利申请号:202111370502X 申请日:20211118

实质审查的生效

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