公开/公告号CN114610835A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院自动化研究所;
申请/专利号CN202210107369.7
申请日2022-01-28
分类号G06F16/31;G06F16/332;G06F16/36;G06N5/02;G09B7/02;
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人聂俊伟
地址 100190 北京市海淀区中关村东路95号
入库时间 2023-06-19 15:36:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-10
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置