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器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统

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摘要

本发明提供了一种器件辐照缺陷演化分子动力学仿真的注量模拟方法及系统，属于模拟仿真技术领域。所述方法包括：获取收敛的单个入射粒子辐照器件产生PKA的数量；对器件进行网格化处理，得到多个含有PKA的网格；构建与网格等大小的体系模型；标定注量的入射粒子分批次辐照器件，基于体系模型，利用分子动力学方法和KMC方法对网格中的PKA进行缺陷演化；统计每个网格中缺陷的种类和数量并归入器件中，改变入射粒子的注量，重复上述步骤，获得不同注量入射粒子与器件中缺陷信息之间的关系。本发明结合分子动力学和动力学蒙特卡罗方法，实现在不同注量下整个半导体器件的缺陷演化过程的模拟计算，且计算逻辑清晰，步骤简单易操作。

著录项

  • 公开/公告号CN115146559A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-10-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨工业大学;

    申请/专利号CN202210762679.2

  • 发明设计人 李兴冀;杨剑群;荆宇航;徐晓东;吕钢;

    申请日2022-06-30

  • 分类号G06F30/28;G06F30/25;G06F111/10;G06F119/14;

  • 代理机构北京隆源天恒知识产权代理有限公司;

  • 代理人丁晴晴

  • 地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

  • 入库时间 2023-06-19 17:02:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-10-04

    公开

    发明专利申请公布

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