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基于Ether CAT极速控制技术的阀控系统

摘要

本发明提供一种基于Ether CAT极速控制技术的阀控系统,包括上位机、处理器、信号传输模块和原子层沉积阀;所述处理器与所述上位机通信连接;所述处理器用于接收上位机发出的控制信息,并对控制信息进行处理得到控制指令;所述信号传输模块连接所述处理器、所述原子层沉积阀;所述处理器采用Ether CAT极速控制技术将控制指令传输至所述信号传输模块,原子层沉积阀根据信号传输模块接收的控制指令控制原子沉积阀的开闭状态。本发明的阀控系统能适应现在高速阀的性能和ALD工艺要求。

著录项

  • 公开/公告号CN115562107A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2023-01-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202211184983.X

  • 发明设计人 崔海红;陈金良;宋维聪;

    申请日2022-09-27

  • 分类号G05B19/042;

  • 代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);

  • 代理人赵琴

  • 地址 201201 上海市浦东新区庆达路315号13幢3F

  • 入库时间 2023-06-19 18:11:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-01-03

    公开

    发明专利申请公布

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