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冷却电子束加速器窗口叶片的方法和装置

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用于从扫描式电子加速器中抽出电子束的窗口叶片的冷却方法和装置，加速器包括一个双窗口式的主窗口叶片和一个副窗口叶片，该方法和装置的特征在于从两侧朝着电子束的扫描面吹动冷却气体，从而冷却主窗口叶片，在主窗口叶片的中心使上述冷却气体的气流转向，并且从电子束扫描面的两侧吸入冷却气体，使冷却气体循环，以便同时冷却副窗口叶片。

著录项

公开/公告号CN1119072C

专利类型发明授权
公开/公告日2003-08-20

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社荏原制作所;
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申请/专利号CN96121061.3
发明设计人西村达也;
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申请日1996-10-17
分类号H05H7/00;G21K5/04;G21K5/00;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人张祖昌
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 08:56:15

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-12-19

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 7/00 授权公告日:20030820 终止日期:20111017 申请日:19961017

专利权的终止
2003-08-20

授权

授权
1998-10-21

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效
1997-07-23

公开

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