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公开/公告号CN102099903B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社新川;
申请/专利号CN200880130417.2
发明设计人 青柳伸幸;濑山耕平;
申请日2008-12-16
分类号
代理机构上海三和万国知识产权代理事务所;
代理人刘立平
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 09:14:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-01
授权
2011-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20081216
实质审查的生效
2011-06-15
公开
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