公开/公告号CN102482777B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 东芝三菱电机产业系统株式会社;国立大学法人京都大学;
申请/专利号CN200980161287.3
申请日2009-09-02
分类号C23C18/12(20060101);B05D3/02(20060101);H01L21/288(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人胡烨
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:20:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-06
授权
授权
2012-07-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/12 申请日:20090902
实质审查的生效
2012-05-30
公开
公开
机译: 金属氧化物膜的形成方法,金属氧化物膜的成膜装置及金属氧化物膜
机译: 制造金属氧化物膜,金属氧化物膜,使用金属氧化物膜的元素,用金属氧化物膜的基质,以及使用金属氧化物膜的基质的装置的制造方法
机译: 制备金属氧化物膜的方法,金属氧化物膜,使用金属氧化物膜的元素,用金属氧化物膜的基质,以及使用金属氧化物膜的基质的装置