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公开/公告号CN102254788B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 国立成功大学;
申请/专利号CN201010189443.1
发明设计人 郑芳田;高季安;黄宪成;张永政;
申请日2010-05-19
分类号H01L21/00(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人任永武
地址 中国台湾台南市大学路1号
入库时间 2022-08-23 09:20:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-20
授权
2012-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20100519
实质审查的生效
2011-11-23
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