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基于可编程MEMS微镜和单点探测器的傅里叶变换红外光谱仪

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本发明涉及一种基于可编程MEMS微镜和单点探测器的傅里叶变换红外光谱仪，其采用宽带光作为光源，光源发出的光经过准直透镜准直成平行光照射到可编程MEMS微镜，可编程MEMS微镜通过偏转不同角度选择合适的反射光进入分束镜，经过分束镜的一路光到达平面反射镜，经过分束镜的另外一路光到达阶梯/斜面反射镜，从平面反射镜和阶梯/斜面反射镜反射回来的光依次经过分束镜，由汇聚透镜汇聚到单点探测器上，实现对干涉光强度的探测。通过驱动上述可编程MEMS微镜，使经过分束镜的透射光到达阶梯/斜面反射镜的不同位置，实现不同光程差干涉。单点探测器可依次获得不同光程差的干涉光强，利用傅立叶变换方法解调还原出光谱信息，从而实现对样品池待测物质的检测。

著录项

公开/公告号CN102620829B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-10-15

原文格式PDF
申请/专利权人重庆大学;
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申请/专利号CN201210105894.1
发明设计人朱永;陈建君;韦玮;王宁;
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申请日2012-04-12
分类号G01J3/28(20060101);G01J3/02(20060101);G02B26/08(20060101);
代理机构50123 重庆华科专利事务所;
代理人康海燕
地址 400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号
入库时间 2022-08-23 09:21:05

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-01-27

专利权的转移 IPC(主分类):G01J 3/28 登记生效日:20160107 变更前: 变更后: 申请日:20120412

专利申请权、专利权的转移
2014-10-15

授权

授权
2012-09-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/28 申请日:20120412

实质审查的生效
2012-08-01

公开

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