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双光束干涉仪

摘要

一种双光束干涉仪包括:两立方角镜相对且共用一或两镜面而形成一整体的两镜面组,并被驱动而在包括两相对棱边的平面或包括由两公共镜面所形成的棱边的平面上作往复转动,一分束片被设在两立方角镜的前面以反射部分入射光并导向两立方角镜的一个,同时,透射入射光的余下部分并导向两立方角镜的另一个,从而在从立方角镜反射出的光分量之间产生干涉。按照本发明,组装时可简化调整并能在有温度变化和振动干扰时稳定地工作。

著录项

  • 公开/公告号CN1025757C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日1994-08-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 岛津制作所;

    申请/专利号CN91109595.0

  • 发明设计人 吉川治;

    申请日1991-09-28

  • 分类号G01J3/45;

  • 代理机构上海专利事务所;

  • 代理人颜承根

  • 地址 日本京都市

  • 入库时间 2022-08-23 08:54:39

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-11-23

    专利权有效期届满 IPC(主分类):G01J 3/45 授权公告日:19940824 期满终止日期:20110928 申请日:19910928

    专利权的终止

  • 2002-06-12

    其他有关事项

    其他有关事项

  • 1994-08-24

    授权

    授权

  • 1993-01-27

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 1992-06-17

    公开

    公开

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