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电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形成方法

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摘要

本发明提供了一种电容式压力传感器和惯性传感器集成器件及其形成方法，该器件包括：半导体衬底；覆盖该半导体衬底的外延层，该外延层下方的压力传感器区域内的半导体衬底中具有空腔；位于外延层上的第一介质层；位于第一介质层上的第一导电层；位于第一导电层上的第二介质层；位于第二介质层上的第二导电层，空腔上方的第二导电层被图形化为多个并列的电容极板，惯性传感器区域的第二导电层被图形化为可动质量块；位于第二导电层上的电极层，压力传感器区域的电极层被图形化为压力传感器布线，惯性传感器区域的电极层被图形化为惯性传感器压点区。本发明将电容式压力传感器和惯性传感器集成在同一器件中，使得芯片面积更小，成本更低。

著录项

公开/公告号CN103712720B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-08-19

原文格式PDF
申请/专利权人杭州士兰集成电路有限公司;
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申请/专利号CN201410005181.7
发明设计人季锋;范伟宏;闻永祥;刘琛;饶晓俊;
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申请日2014-01-02
分类号G01L1/14(20060101);G01L9/12(20060101);G01C21/16(20060101);B81C1/00(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人张振军
地址 310018 浙江省杭州市(下沙)经济技术开发区东区10号路308号
入库时间 2022-08-23 09:28:34

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-08-19

授权

授权
2014-05-07

实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20140102

实质审查的生效
2014-04-09

公开

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