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利用白噪声PSD校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法

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本发明涉及一种利用白噪声功率谱密度(PSD)校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法。白噪声会限制光学表面轮廓仪的空间分辨率，它是一种功率频谱密度为常数的随机信号或随机过程，利用这一规律，将测试结果中符合白噪声功率谱密度(PSD)曲线化规律的部分截断，剩余部分对应有效的空间频率范围。本发明原理简单、操作便捷，不需要借助其他设备，在检测光滑样品的同时就可以完成校准工作，显著降低了光学表面轮廓仪校准的难度和成本，确定了光学表面轮廓仪的有效空间分辨率。

著录项

公开/公告号CN103983204B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-08-26

原文格式PDF
申请/专利权人同济大学;
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申请/专利号CN201410050122.1
发明设计人王占山;马爽;蒋励;沈正祥;
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申请日2014-02-13
分类号G01B11/24(20060101);G01B11/30(20060101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人赵继明
地址 200092 上海市四平路1239号
入库时间 2022-08-23 09:29:20

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-07-18

专利权的转移 IPC(主分类):G01B 11/24 登记生效日:20170629 变更前: 变更后: 申请日:20140213

专利申请权、专利权的转移
2015-08-26

授权

授权
2015-08-26

授权

授权
2015-02-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20140213

实质审查的生效
2015-02-04

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20140213

实质审查的生效
2014-08-13

公开

公开
2014-08-13

公开

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