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传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法

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一种用于高功率激光装置中的传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法，该装置包括吹扫系统、照明系统、集尘系统和三套相同的支撑定位系统。本发明具有构思巧妙，简单易行，能实时、在线检查和去除传输镜表面灰尘，观测精度高；去除效率高，避免了传输镜表面的二次污染和对其他光学元器件的污染。适用于任意角度摆放的传输镜。

著录项

公开/公告号CN103894372B

专利类型发明专利
公开/公告日2016-01-06

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN201410125393.9
发明设计人李养帅;朱健强;庞向阳;刘志刚;焦翔;吴永忠;陶华;
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申请日2014-03-31
分类号B08B5/02(20060101);B08B15/00(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市嘉定区800-211
入库时间 2022-08-23 09:33:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-01-06

授权

授权
2014-07-30

实质审查的生效 IPC(主分类):B08B5/02 申请日:20140331

实质审查的生效
2014-07-02

公开

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