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微机械陀螺仪的正交和共振频率的解耦控制方法

摘要

本发明涉及一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1),其中在这些独立的修整电极元件(1)中的每一个与所述震动质量之间施加电修整电压(u1,u2,u3,u4)。根据共振频率操纵变量正交操纵变量和重置变量来调节这些电修整电压(u1,u2,u3,u4)中的每一个。

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-02-17

    授权

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  • 2013-03-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01C19/56 申请日:20110317

    实质审查的生效

  • 2013-01-23

    公开

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