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公开/公告号CN102290478B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十八研究所;
申请/专利号CN201110259810.5
发明设计人 刘如彬;孙强;张启明;王帅;康培;高鹏;穆杰;
申请日2011-09-05
分类号
代理机构天津市鼎和专利商标代理有限公司;
代理人李凤
地址 300381 天津市南开区李七庄凌庄子道18号
入库时间 2022-08-23 09:36:21
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-09
授权
2013-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/075 申请日:20110905
实质审查的生效
2011-12-21
公开
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