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微机电系统（MEMS）以及相关的致动器凸块、制造方法和设计结构

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摘要

提供微机电系统（MEMS）结构、制造方法和设计结构。形成MEMS结构的方法包括在基板上形成固定致动器电极（115）和接触点。该方法还包括在固定致动器电极和接触点之上形成MEMS梁（100）。该方法还包括形成与固定致动器电极的部分对齐的致动器电极阵列（105’），其大小和尺度设置为防止MEMS梁在重复循环后下陷在固定致动器电极上。致动器电极阵列形成为与MEMS梁的下侧和固定致动器电极的表面至少之一直接接触。

著录项

公开/公告号CN103917481B

专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-23

原文格式PDF
申请/专利权人国际商业机器公司;
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申请/专利号CN201280026455.X
发明设计人 C.V.杰恩斯;A.K.斯坦珀;
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申请日2012-03-14
分类号B81B3/00(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人赵国荣
地址美国纽约阿芒克
入库时间 2022-08-23 09:36:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-03-23

授权

授权
2014-08-06

实质审查的生效 IPC(主分类):B81B3/00 申请日:20120314

实质审查的生效
2014-07-09

公开

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1. 微机电系统(MEMS)及相关致动器凸块、制造方法和设计结构 [P] . 中国专利： CN103718304B . 2017.05.03
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