法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-08-09
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-04-25
授权
授权
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,特别是用于微机械致动器的微机械致动器,控制系统,微机械系统以及控制微机械致动器的方法
机译: 微机械元件,用于监视微机械元件的传感器,微机械元件的操作方法,微机械元件的监视方法,包含用于执行该方法的程序代码的计算机程序以及影响微机械机械振动的方法
机译: 鼓风机的组合式微机自动加热机的温度控制器