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一种量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器

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本实用新型涉及一种量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器,属于微电子机械系统领域,其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框构成,芯片封装在框架中,并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板－岛结构,主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻构成的。起弹性梁作用的薄板为单晶硅薄层,其厚度与量程有关;敏感电阻设计成单一直线状,长度可接近薄板宽。

著录项

公开/公告号CN2503487Y

专利类型
公开/公告日2002-07-31

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海冶金研究所;
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申请/专利号CN01238754.1
发明设计人黄全平;陆德仁;
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申请日2001-04-06
分类号G01P15/09;
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人潘振甦
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-21 22:43:33

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2010-09-22

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P15/09 授权公告日:20020731 申请日:20010406

专利权的终止
2002-07-31

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1. 一种量程可达200万m/s²的微机械加速度传感器 [P] . 中国专利： CN2570793Y . 2003-09-03
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