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磁控微机械系统双带可调微波超材料吸收器

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摘要

磁控微机械系统双带可调微波超材料吸收器，属于电磁器件领域，本实用新型为解决现有的可调超材料吸收器存在带宽窄、结构复杂、精度不高、不能集成以及制备成本高的问题。本实用新型包括衬底、下金属地板层、绝缘介质层、电子开口谐振环层和悬臂梁，衬底上依次设置有下金属地板层、绝缘介质层和电子开口谐振环层，电子开口谐振环层上的左端开口连接条、中间开口连接条和右端开口连接条的中部为断开的开口部位；开口部位上分别设置有一个悬臂梁；悬臂梁包括支撑件、下层微梁、上层微梁和敏感材料层，下层微梁的上表面依次设置有上层微梁、敏感材料层，下层微梁和上层微梁表面尺寸相同，敏感材料层表面尺寸为上层微梁表面尺寸的一半。

著录项

  • 公开/公告号CN202231159U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2012-05-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨理工大学;

    申请/专利号CN201120410538.1

  • 发明设计人 贺训军;王玥;齐迹;梅金硕;王建民;桂太龙;殷景华;

    申请日2011-10-25

  • 分类号

  • 代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;

  • 代理人张果瑞

  • 地址 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号

  • 入库时间 2022-08-21 23:29:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-12-11

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01Q17/00 授权公告日:20120523 终止日期:20121025 申请日:20111025

    专利权的终止

  • 2012-05-23

    授权

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