公开/公告号CN103234471B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 上海理工大学;
申请/专利号CN201310173003.0
申请日2013-05-10
分类号G01B11/06(20060101);G01B11/08(20060101);G01B11/14(20060101);G01L5/04(20060101);
代理机构31204 上海德昭知识产权代理有限公司;
代理人郁旦蓉
地址 200093 上海市杨浦区军工路516号
入库时间 2022-08-23 09:39:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B11/06 授权公告日:20160420 终止日期:20190510 申请日:20130510
专利权的终止
2016-04-20
授权
授权
2016-04-20
授权
授权
2013-09-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/06 申请日:20130510
实质审查的生效
2013-09-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20130510
实质审查的生效
2013-08-07
公开
公开
2013-08-07
公开
公开
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机译: 报警方法,处理系统,基体载荷重复性测量方法,位置测量方法,曝光方法,基体处理装置,测量方法和测量装置
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