公开/公告号CN203349832U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 快捷半导体(苏州)有限公司;快捷半导体公司;
申请/专利号CN201320185461.1
申请日2013-04-12
分类号
代理机构北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人武晨燕
地址 215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏桐路1号
入库时间 2022-08-21 23:58:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-31
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C19/56 授权公告日:20131218 终止日期:20160412 申请日:20130412
专利权的终止
2013-12-18
授权
授权
机译: 微机电系统(MEMS)设备和用于制造MEMS的方法
机译: 微机电系统(MEMS)设备和用于制造MEMS的方法
机译: 结合用于微机电系统(MEMS)和基于MEMS的设备