首页> 中国专利> 用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统

用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统

摘要

本申请提供一种用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统。所述驱动器可包括:第一输入端,被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号;第二输入端,被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号;以及放大器,被配置为接收高压电源,在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号,以及,在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。

著录项

  • 公开/公告号CN203349832U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2013-12-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201320185461.1

  • 发明设计人 H·陶;约恩·奥普里斯;

    申请日2013-04-12

  • 分类号

  • 代理机构北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人武晨燕

  • 地址 215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏桐路1号

  • 入库时间 2022-08-21 23:58:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-05-31

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C19/56 授权公告日:20131218 终止日期:20160412 申请日:20130412

    专利权的终止

  • 2013-12-18

    授权

    授权

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号