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全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置

摘要

本实用新型公开了一种全自动湿法制程中自动槽盖的联动开启关闭装置,属于半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造领域。该装置包括气动机构、齿轮传动机构和连杆传动机构,所述齿轮传动机构用于固定连接第一自动槽盖的第一转轴,与第一自动槽盖相对应的第二自动槽盖的第二转轴通过所述连杆传动机构与齿轮传动机构连接,所述齿轮传动机构通过气动机构驱动带动第一转轴和连杆传动机构使第一自动槽盖和第二自动槽盖同时开启和关闭。本实用新型能够提高全自动设备使用的安全性和运行的稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN207533613U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2018-06-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 王强;

    申请/专利号CN201721364347.X

  • 发明设计人 王强;

    申请日2017-10-23

  • 分类号

  • 代理机构北京恩赫律师事务所;

  • 代理人赵文成

  • 地址 101101 北京市通州区永顺镇潞邑西路2号院4号楼412号

  • 入库时间 2022-08-22 05:27:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-26

    授权

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