公开/公告号CN211262664U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 天津博科光电科技有限公司;
申请/专利号CN201821225664.8
申请日2018-08-01
分类号
代理机构天津协众信创知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李京京
地址 300393 天津市西青区西青汽车工业区中联产业园8号楼201
入库时间 2022-08-22 15:59:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-14
授权
授权
机译: 具有形式双折射的表面特征测量系统,具有形式双折射的特征尺寸测量方法,具有高横向分辨率的各向异性样品的临界尺寸的测量装置以及具有样品的高分辨率的临界尺寸的方法
机译: 用扫描模式下双折射测量装置(全场极化)确定弹性同构和双折射一般状态的装置
机译: 模式双折射因子测量方法及双折射装置零位