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一种基于隧道磁阻效应的高精度双质量硅微陀螺仪装置

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摘要

本实用新型公开了一种基于隧道磁阻效应的高精度双质量硅微陀螺仪装置，该装置包括上、下两层：上层为硅敏感结构、下层为布有金属电极和隧道磁阻检测模块的玻璃基底结构。上层结构通过锚点键合在下层结构之上。其中，上层结构由两个完全相同的陀螺仪子结构、一对支撑梁以及一对锚点构成；下层结构由隧道磁阻检测模块、玻璃基底、驱动电极、驱动检测电极、正交电极、线圈输入接口、线圈输入电极、线圈输出接口、线圈输出电极、公共电极以及信号引线构成。本实用新型提出硅微陀螺仪使用微型线圈作为励磁机构，磁场稳定、场强可控、集成度高，同时使用差分式隧道磁阻检测结构，具有抗共模误差能力强、灵敏度高、测量精度高等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN211626499U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2020-10-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东南大学;

    申请/专利号CN201921462193.7

  • 发明设计人 杨波;李成;郭鑫;高小勇;

    申请日2019-09-04

  • 分类号G01C19/5621(20120101);G01R33/09(20060101);G01R33/00(20060101);

  • 代理机构32206 南京众联专利代理有限公司;

  • 代理人薛雨妍

  • 地址 210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

  • 入库时间 2022-08-22 17:03:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-08-12

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C19/5621 专利号:ZL2019214621937 申请日:20190904 授权公告日:20201002

    专利权的终止

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