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氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉

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摘要

本实用新型公开了氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉，包括底柜和管体，所述底柜中部安装有操作台，且底柜内部安装有抽气泵，所述底柜顶部安装有加热炉，且加热炉表面固定有连接块，且连接块另一端连接有卡块，所述卡块另一端连接有炉盖，且炉盖表面嵌入有观测玻璃，所述底柜内部安装有抽气泵，所述加热炉表面开设有通孔，且通孔下方设置有夹持块，所述夹持块内部连接有复位弹簧。该氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉通过夹持块、复位弹簧与限位臂之间的相互配合设置，使其将管体放置于夹持块内部时，管体压动复位弹簧与限位臂向下移动，使其弯曲状限位臂的另一端向下将管体夹持固定，且通过软胶块与限位臂之间的相互配合设置，使其提升了夹持的稳定性。

著录项

  • 公开/公告号CN213013089U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-04-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江泰恒新能源有限公司;

    申请/专利号CN202022013747.4

  • 发明设计人 刘军;沈文建;

    申请日2020-09-15

  • 分类号C23C16/513(20060101);C23C16/30(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 324300 浙江省衢州市开化县华埠镇金山路12号

  • 入库时间 2022-08-22 20:59:42

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