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一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置

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本实用新型属于ICP技术领域，公开了一种带有氩气流量监控功能的ICP气流保护装置，包括氩气管，所述氩气管内设置有压缩氩气，所述氩气管上依次设置有减压阀和质量流量控制器，所述质量流量控制器位于减压阀的出气端。本方案通过在氩气管上安装质量流量控制器，从而质量流量控制器实时监测氩气管内的压缩氩气的流量，并将检测的气流数据反馈给ICP主控系统的上位机软件，同时ICP主控系统的上位机软件将设置的气流电压信号发送给气流保护系统，气流保护系统对比反馈数据和设置数据，如果差值超出安全阈值的范围，将直接发送指令关闭ICP设备的供电设备，避免由于气体在使用完毕或者气流不稳定的情况下影响测试数据，甚至损坏ICP设备。

著录项

公开/公告号CN213207289U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-05-14

原文格式PDF
申请/专利权人苏州普业仪器有限公司;
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申请/专利号CN202021750956.0
发明设计人吴海荣;
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申请日2020-08-20
分类号F17D3/01(20060101);
代理机构44646 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙);
代理人陈映辉
地址 215300 江苏省苏州市巴城镇城北西路555号7号楼4楼
入库时间 2022-08-22 21:31:13

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