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一种提高并精确控制超纯水电导率数值的装置

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摘要

本实用新型公开了一种提高并精确控制超纯水电导率数值的装置，涉及芯片加工技术领域。通过检测超纯水输出口的电导率，根据检测到的电导率数值，反馈式控制支路水流截面积，如此自动调节支路中二氧化碳混入主管路的比例，从而获得所需电导率的超纯水。本实用新型包括低电导率超纯水接入口、所需电导率超纯水输出口、连接低电导率超纯水接入口和所需电导率超纯水输出口的主管路；主管路由四个由令分割成五段，靠近低电导率超纯水接入口的主管路第一段侧部安装有手动球阀；靠近低电导率超纯水接入口的主管路第二段上安装有主管路水压减压阀；主管路第三段和主管路第四段之间通过支管路安装有一对或者单一二氧化碳溶入器以及串联的支管路水流比例阀。

著录项

  • 公开/公告号CN214427334U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-10-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海技垚科技有限公司;

    申请/专利号CN202120549189.5

  • 发明设计人 米辉;张剑胜;鲍贵军;

    申请日2021-03-17

  • 分类号G01N27/06(20060101);C02F1/68(20060101);C02F103/04(20060101);

  • 代理机构31374 上海创开专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人吴海燕

  • 地址 200135 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层

  • 入库时间 2022-08-23 01:04:26

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