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PECVD反应炉及PECVD反应系统

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摘要

本申请提供一种PECVD反应炉及PECVD反应系统，涉及光伏领域。PECVD反应炉包括石英管、第一加热组件以及第二加热组件，石英管设有进气口以及出气口；第一加热组件围设于石英管的外周；第二加热组件设置于石英管内，第二加热组件具有环形加热部，环形加热部的轴线与石英管的轴线平行或重合。上述设置可使石墨舟穿设于环形加热部，缩短加热源与石墨舟的距离，便于快速且精准的直接加热石墨舟以及石墨舟内的硅片，有利于均匀加热石墨舟以获得厚度均匀的镀膜，并且上述设置可直接在现行的PECVD反应炉内直接添加第二加热组件，便于改造且改造成本低。

著录项

  • 公开/公告号CN217651315U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-10-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 通威太阳能(眉山)有限公司;

    申请/专利号CN202221316758.2

  • 发明设计人 周公庆;刘赖生;廖海伦;

    申请日2022-05-30

  • 分类号C23C16/50;C23C16/48;C23C16/455;

  • 代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人邵琛

  • 地址 620000 四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号

  • 入库时间 2022-11-28 18:27:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-10-25

    授权

    实用新型专利权授予

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