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MEMS结构中的可调节通风口

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摘要

本发明涉及MEMS结构中的可调节通风口。公开了一种MEMS结构和一种用于操作MEMS结构的方法。根据本发明的一个实施例，一种MEMS结构包括基片，背板和包括第一区域和第二区域的薄膜，其中第一区域被配置为感测信号而第二区域被配置为将阈值频率从第一值调节到第二值，并且其中所述背板和所述薄膜被机械地连接到所述基片。

著录项

  • 公开/公告号CN103297883B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-09-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英飞凌科技股份有限公司;

    申请/专利号CN201310159227.6

  • 发明设计人 A·德黑;M·武尔泽;

    申请日2013-02-28

  • 分类号H04R1/08(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人王岳;李浩

  • 地址 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号

  • 入库时间 2022-08-23 09:47:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-09-21

    授权

    授权

  • 2013-10-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H04R 1/08 申请日:20130228

    实质审查的生效

  • 2013-09-11

    公开

    公开

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