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代表值计算装置及代表值确定方法

摘要

本发明提供一种在工艺系统等利用对所测得的工艺条件的值计算出工艺条件值的代表值的代表值计算装置。根据本发明一实施例的代表值计算装置可以利用通过传感器按不同的样品的样点测量的工艺条件值按各样点计算工艺条件值的中位数(median)及中位数绝对偏差(median absolute deviation,MAD)等;利用工艺条件值、中位数(median)及中位数绝对偏差(median absolute deviation,MAD)计算标准化值;及基于计算出的标准化值按不同样品计算工艺条件值的代表值。

著录项

  • 公开/公告号CN103329136B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-11-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 具兴燮;

    申请/专利号CN201180056973.1

  • 发明设计人 具兴燮;

    申请日2011-11-25

  • 分类号G06F19/00(20110101);G06F17/18(20060101);

  • 代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人钟晶;於毓桢

  • 地址 韩国忠清北道

  • 入库时间 2022-08-23 09:48:59

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-13

    专利权的转移 IPC(主分类):G06F 19/00 登记生效日:20180626 变更前: 变更后: 申请日:20111125

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-11-30

    授权

    授权

  • 2016-11-30

    授权

    授权

  • 2013-10-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F19/00 申请日:20111125

    实质审查的生效

  • 2013-10-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 19/00 申请日:20111125

    实质审查的生效

  • 2013-09-25

    公开

    公开

  • 2013-09-25

    公开

    公开

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