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制造薄膜体声谐振器的改进方法和以该法实现的薄膜体声谐振器结构

摘要

一种在衬底(302)上制造例如薄膜体声谐振器(FBAR)这样的声谐振器的方法。蚀刻一个凹陷(306)并填充牺牲材料。FBAR制造在衬底(302)上并跨越凹陷(306),FBAR有一个蚀刻孔(320)。凹陷(306)可以包括蚀刻沟(307),在这种情况下FBAR可以包括与蚀刻沟(307)相对准的蚀刻孔(322、324)。应用该技术所得的谐振器是悬挂在空气中的并包括至少一个蚀刻孔(320)并且可以包括蚀刻沟(307)。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-11-09

    专利权的转移 IPC(主分类):H03H 3/007 登记生效日:20181022 变更前: 变更后: 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-06-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H03H3/007 变更前: 变更后: 登记生效日:20130508 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-06-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H03H 3/007 变更前: 变更后: 登记生效日:20130508 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-06-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H03H 3/007 变更前: 变更后: 登记生效日:20130508 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

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    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2007-02-14

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更前: 变更后: 登记生效日:20070105 申请日:20011130

    专利申请权、专利权的转移专利权的转移

  • 2005-11-30

    授权

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  • 2005-11-30

    授权

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  • 2005-11-30

    授权

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  • 2003-12-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-12-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2003-12-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2002-10-09

    公开

    公开

  • 2002-10-09

    公开

    公开

  • 2002-10-09

    公开

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