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用于oxford离子束溅射镀膜机的复合溅射靶材

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本发明属于离子束溅射镀膜技术，涉及对用于oxford离子束溅射镀膜机溅射靶材的改进。它包括一个圆片形的纯钛基体靶[1]，其特征在于，复合溅射靶材由基体靶[1]和镶嵌在基体靶[1]上的28个高纯钛片和高纯二氧化硅片和/或高纯钽片组成。本发明解决了金属和非金属的混合靶材难以制造的难题，可以方便地进行混合靶材混合比例的调节，缩短了膜层生产周期，降低了成本。

著录项

公开/公告号CN106342099B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-08

原文格式PDF
申请/专利权人中国航空工业第六一八研究所;
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申请/专利号CN200810075544.9
发明设计人陈帛雄;单凡;李县洛;张爱民;
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申请日2008-05-27
分类号
代理机构中国航空专利中心;
代理人梁瑞林
地址 710065 陕西省西安市电子一路92号
入库时间 2022-08-23 09:50:57

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-19

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/00 授权公告日:20110608 终止日期:20170527 申请日:20080527

专利权的终止
2017-01-18

保密专利的解密 IPC(主分类):C23C 14/00 申请日:20080527

保密专利的解密
2017-01-18

保密专利的解密 IPC(主分类):C23C 14/00 申请日:20080527

保密专利的解密
2011-06-08

保密专利专利权授予

保密专利专利权授予
2011-06-08

保密专利专利权授予

保密专利专利权授予

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