法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-08
授权
授权
2016-10-12
著录事项变更 IPC(主分类):G01T 1/00 变更前: 变更后: 申请日:20150128
著录事项变更
2015-05-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01T 1/00 申请日:20150128
实质审查的生效
2015-04-22
公开
公开
机译: 具有多个探测器的扫描电子显微镜及基于多个探测器的成像方法
机译: 具有多个探测器的扫描电子显微镜及基于多个探测器的成像方法
机译: 具有多个探测器的扫描电子显微镜及基于多个探测器的成像方法