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探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法

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探针伺服角度控制方法及控制模块、基于该控制模块的成像系统及该系统的成像方法，涉及采用原子力显微镜进行微纳米结构表面扫描成像的技术。它为了解决传统的原子力显微镜无法对具有大倾角外斜表面、垂直侧壁表面、内斜表面等结构表面实现连续可控分辨率三维扫描成像的问题。本发明通过控制探针针针尖在YZ平面内实时沿与XZ表面成Φ角的矢量上接近样品表面进行扫描，Φ值可以自动根据已扫描的样品表面信息进行动态调节，以此实现不同角度的表面的等分辨率扫描，有助于提高对微纳米结构性能检测及检测效率，从而为超大规模集成电路和甚超大规模集成电路检测提供了一种重要的工具。

著录项

公开/公告号CN104502634B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-22

原文格式PDF
申请/专利权人哈尔滨工业大学;
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申请/专利号CN201410783238.6
发明设计人谢晖;杨锋;
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申请日2014-12-16
分类号
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人岳昕
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
入库时间 2022-08-23 09:53:52

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-03-22

授权

授权
2015-05-06

实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/24 申请日:20141216

实质审查的生效
2015-04-08

公开

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