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研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统

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本发明提出一种研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统，其中系统包括：加载互锁腔体、等离子体放电腔体和分析腔体。加载互锁腔体用于将样品传送至等离子体放电腔体或分析腔体；等离子体放电腔体与加载互锁腔体相连，用于对样品表面进行等离子体放电处理；分析腔体与等离子体放电腔体相连，用于对处理后的样品进行表面分析。根据本发明实施例的分析系统，通过加载互锁腔体和等离子体放电腔体使样品以高真空状态下进入分析腔体进行分析，从而提高了分析结果的准确性和可靠性。

著录项

公开/公告号CN104062312B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-04-12

原文格式PDF
申请/专利权人清华大学;
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申请/专利号CN201410253719.6
发明设计人李江涛;王振斌;蒲以康;
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申请日2014-06-09
分类号G01N23/227(20060101);
代理机构11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张大威
地址 100084 北京市海淀区100084-82信箱
入库时间 2022-08-23 09:54:10

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-06-02

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N23/227 授权公告日:20170412 终止日期:20190609 申请日:20140609

专利权的终止
2017-04-12

授权

授权
2017-04-12

授权

授权
2014-10-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/227 申请日:20140609

实质审查的生效
2014-10-22

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/227 申请日:20140609

实质审查的生效
2014-09-24

公开

公开
2014-09-24

公开

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