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行波管检漏设备在行波管检漏中的应用方法

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本发明公开了一种行波管检漏设备及其应用方法。其中，检漏设备包括密封罩(1)、与密封罩连通的第一抽真空装置(8)、经由排气阀(9)与所述密封罩连通的通氦气装置(10)，待测行波管(2)设置于所述密封罩内，所述检漏装置还包括与所述待测行波管连通设置于所述密封罩外部的并联设置的检漏装置(3)和第二抽真空装置(7)且所述检漏装置和所述第二抽真空装置前端还分别设置有第一控制阀(4)和第二控制阀(6)以分别独立控制所述检漏装置与所述待测行波管以及所述第二抽真空装置与所述待测行波管的通断。通过上述设计，实现了可用一般检漏装置对极高真空下的行波管进行检漏。

著录项

公开/公告号CN104198131B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-04-12

原文格式PDF
申请/专利权人安徽华东光电技术研究所;
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申请/专利号CN201410449463.6
发明设计人吴华夏;吴磊;朱刚;周秋俊;王昊;
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申请日2014-09-04
分类号
代理机构北京润平知识产权代理有限公司;
代理人孙向民
地址 241000 安徽省芜湖市高新技术产业开发区华夏科技园
入库时间 2022-08-23 09:54:10

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-04-12

授权

授权
2015-01-07

实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 3/22 申请日:20140904

实质审查的生效
2014-12-10

公开

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