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光致发光测量中掺杂浓度和少数载流子寿命分离

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本发明涉及光致发光测量中掺杂浓度和少数载流子寿命分离。具体来说，本发明涉及分离由掺杂浓度和少数载流子寿命分别对半导体材料产生的光致发光(PL)的影响的方法。在一个实施方式中本底掺杂浓度以其他技术被测量，使得PL测量结果根据有效少数载流子寿命被分析。在另一个实施方式中有效寿命以其他技术被测量，使得PL测量结果根据本底掺杂浓度被分析。在又一个实施方式中，通过计算两次PL测量结果的强度比本底掺杂浓度的影响被消除，所述PL测量结果是在不同的光谱范围下被获得，或者在不同的激发波长下被产生。

著录项

公开/公告号CN104020148B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-04-12

原文格式PDF
申请/专利权人 BT成像股份有限公司;
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申请/专利号CN201410281804.3
发明设计人托斯顿·特鲁普克;
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申请日2010-07-19
分类号G01N21/64(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人余刚;张英
地址澳大利亚新南威尔士
入库时间 2022-08-23 09:54:29

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-04-12

授权

授权
2014-10-08

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/64 申请日:20100719

实质审查的生效
2014-09-03

公开

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