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一种高空间分辨力及高时间分辨力的红外热成像测温方法

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摘要

本发明公开了一种高空间分辨力及高时间分辨力的红外热成像测温方法，涉及半导体器件温度测试领域；（a）通过调整瞬态红外设备的聚焦区域，用瞬态红外设备测量被测件两个温度明显不同区域的温度，得到两条温度随时间变化的曲线；（b）分析两条温度变化曲线，判断被测件进入准稳态的时间点；（c）用瞬态红外设备测量目标区域的温度，得到目标区域的温度变化曲线；（d）用显微红外热像仪测量目标区域的温度，得到目标区域的温度分布图像；（e）得到目标区域任意时刻，任意位置的准确温度值。（f）得到任意时间点整个区域的温度分布图像，也可以得到任意位置整个时间区域内的温度变化曲线。本发明能满足高时间分辨力和高空间分辨力的温度检测。

著录项

公开/公告号CN104713651B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-08-15

原文格式PDF
申请/专利权人中国电子科技集团公司第十三研究所;
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申请/专利号CN201510100045.0
发明设计人翟玉卫;刘岩;郑世棋;吴爱华;乔玉娥;梁法国;
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申请日2015-03-06
分类号G01J5/00(20060101);
代理机构13120 石家庄国为知识产权事务所;
代理人米文智
地址 050051 河北省石家庄市合作路113号
入库时间 2022-08-23 10:00:00

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-08-15

授权

授权
2015-07-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/00 申请日:20150306

实质审查的生效
2015-07-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/00 申请日:20150306

实质审查的生效
2015-06-17

公开

公开
2015-06-17

公开

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